Accurion RSE光譜型參比橢偏儀

光譜型參比橢偏儀（RSE）, 設(shè)計(jì)用于質(zhì)量控制中的高速厚度mapping。它可以精準(zhǔn)測(cè)量0.1 nm至10µm的厚度。每秒記錄200個(gè)完整的光譜，可以在12分鐘內(nèi)研究100mmx 100mm的區(qū)域，并同時(shí)獲得67000個(gè)光譜。
參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測(cè)

RSE是一種特殊類型的橢偏儀，它通過將參考樣品和被測(cè)樣品進(jìn)行比較，測(cè)量它們之間的差異從而對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行橢偏分析。在測(cè)量過程中沒有任何需要轉(zhuǎn)動(dòng)或者調(diào)制的光學(xué)部件，并且可以在單次測(cè)量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數(shù)據(jù)。通常可每秒采集200個(gè)光譜橢偏數(shù)據(jù)。通過配備同步的X/Y二維自動(dòng)樣品臺(tái)可以在數(shù)分鐘內(nèi)測(cè)量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。 由于參考補(bǔ)償系統(tǒng)仍然是橢偏儀原理，因此需要將測(cè)量數(shù)據(jù)擬合到光學(xué)模型，以獲得光學(xué)參數(shù)，如折射率和薄膜厚度。為了實(shí)現(xiàn)高速的數(shù)據(jù)處理速度，實(shí)現(xiàn)了查找表擬合。在測(cè)量之前，將計(jì)算一個(gè)查找表。然后可以實(shí)時(shí)且高分辨率地?cái)M合測(cè)量數(shù)據(jù)。

主要功能：

• “單次"參比光譜橢偏測(cè)量

• 每秒200個(gè)全光譜橢偏數(shù)據(jù)

• 用于評(píng)估薄膜厚度的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理

• 光斑尺寸：50 x 100um（入射角=60°）的微光斑

• 薄膜厚度測(cè)量范圍：<1nm~10um

• 光譜范圍：450–900 nm

應(yīng)用：

• 晶圓檢測(cè)

• 污染物檢測(cè)

• 超薄膜和中間層的厚度

• 透明基板上的薄層

  
  

  
  

參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測(cè)